Estando a lâmina limpa e isenta de umidade, aplica-se sobre a amostra o promotor de aderência e submete-se a amostra à 4000 rmp por 30 segundos.

Em seguida, uma camada de fotorresiste é aplicada:

• Deposita-se algumas gotas de fotorresiste (AZ 1350J) sobre a pastilha;
• Segue-se a homogeinização do fotorresiste através do Spinner;
• Coloca-se a lâmina no forno para fixação do fotorresiste.

Após a fixação, a lâmina é levada à fotoalinhadora e preparada para a exposição. Estando alinhadas a máscara e a lâmina, é feita a exposição aos raios ultra-violeta (UV) a uma potência de 9mW.cm-2 durante aproximadamente 20 segundos, polimerizando as regiões expostas.