Para a formação de contatos metálicos de porta e de fonte/dreno, evapora-se uma camada de alumínio de 1 µm sobre toda a lâmina.

No CCS/Unicamp, executa-se a evaporação introduzindo-se as lâminas numa câmara de alto-vácuo com um sistema de feixe de elétrons, que é usado para fundir a fonte metálica, que se deseja depositar sobre o substrato. A fonte metálica utilizada é de alumínio com grau de pureza de 99,999%.

A pressão de base para iniciar o processo é da ordem de 5 x 10^-7 Torr, que é obtida através de um sistema de vácuo acoplado que contém duas bombas de vácuo (mecânica e difusora).

Durante a evaporação, a pressão é de aproximadamente 5 x 10^-5 Torr.